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多晶硅棒的切断方法、多晶硅棒的短棒的制造方法、多晶硅棒的硅粒的制造方法及多晶硅棒的切断装置

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摘要

本发明实现一种在切断多晶硅棒时防止金属污染的方法。本发明的切断方法是包括利用切断工具(133)切断多晶硅棒(S)的切断步骤的多晶硅棒(S)的切断方法，且在切断步骤中，从第一喷嘴(14)向多晶硅棒(S)的切断位置供给液体(L1)，从第二喷嘴(15)向多晶硅棒(S)的表面供给液体(L2)。

公开/公告号CN113784828A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社德山;
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申请/专利号CN202080033334.2
发明设计人阪井纯也;田崎博之;
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申请日2020-04-17
分类号B28D7/02(20060101);B24B27/06(20060101);B24B55/02(20060101);B24B55/06(20060101);B28D5/02(20060101);
代理机构11728 北京信诺创成知识产权代理有限公司;
代理人郝文婷;刘金峰
地址日本山口县
入库时间 2023-06-19 13:40:20