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干法刻蚀机预防性维护方法、系统及存储介质

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本发明揭示了干法刻蚀机预防性维护方法、系统及存储介质，方法包括以下步骤：通过材料组织和性能的表征手段对有缺陷的干法刻蚀试制品进行缺陷机理分析，获得缺陷种类及产生设备和工艺主次因素；根据以上分析结果，采用统计学方法建立缺陷预测模型；根据缺陷预测模型制定干法刻蚀机正常运行的维护阈值；根据该维护阈值与获取的当前干法刻蚀机特征参数的对比推送正常/报警响应，并匹配相应维修内容与计划。本发明实现了有效提高设备的运行稳定性与产品良品率。

著录项

公开/公告号CN113919515A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11

原文格式PDF
申请/专利权人苏州芯慧联半导体科技有限公司;
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申请/专利号CN202010656426.8
发明设计人杨冬野;袁蕾;
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申请日2020-07-09
分类号G06Q10/00(20120101);G06Q50/04(20120101);G06F17/18(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11350 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 215000 江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢
入库时间 2023-06-19 13:51:08

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