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一种光谱黑洞共焦测量面型或厚度的装置及方法

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本发明公开了一种光谱黑洞共焦测量面型或厚度的装置及方法，通过科学合理地设计由多光谱光源、第一聚焦透镜组、透光反射件、准直透镜组、色散聚焦透镜组、XY位移平台、第二聚焦透镜组和光信号处理组件够成的光学系统，或由多光谱光源、Y型光纤、光信号处理组件、准直透镜组、色散聚焦透镜组和XY位移平台够成的光学系统，可获取光学系统中共焦焦点周围的部分离焦光，进而使得光信号处理组件得到一具有一定宽度波峰以及中间夹有一锐利的波谷的光谱信号，根据得到的光谱信号中的波谷和两侧的波峰值数据进行处理并多次计算，依据计算值与被测面板在单位时间内的位移关系，则可实现高效准确以无接触地计算被测面板的面型或厚度。

著录项

公开/公告号CN113916151A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11

原文格式PDF
申请/专利权人珠海横琴美加澳光电技术有限公司;
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申请/专利号CN202111230914.3
发明设计人孙保福;宋素霜;
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申请日2021-10-22
分类号G01B11/24(20060101);G01B11/06(20060101);
代理机构44706 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙);
代理人凌信景
地址 519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-58293(集中办公区)
入库时间 2023-06-19 13:52:41

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