公开/公告号CN113913744A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 华南师范大学;
申请/专利号CN202111131954.2
申请日2021-09-26
分类号C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/22(20060101);C23C14/02(20060101);H01L51/00(20060101);H01L51/42(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人张建珍
地址 510006 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学华南先进光电子研究院
入库时间 2023-06-19 13:52:41
机译: 凹入式检修门线阵列,导电线阵列,凹入式检修门线阵列和导电线阵列,存储器电路,形成凹入式检修门线阵列的方法,形成导电线阵列的方法以及形成导电线的方法凹入式检修门线阵列和导电线阵列
机译: 纳米天线阵列的制造方法,纳米天线阵列芯片及光刻结构
机译: 纳米天线阵列的制造方法纳米天线阵列芯片和光刻结构