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一种高度择优取向Magnéli相Ti6O11透明导电薄膜及其制备方法和应用

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本发明涉及一种高度择优取向Magnéli相Ti6O11透明导电薄膜及其制备方法和应用，该制备方法的步骤如下：采用脉冲激光沉积法，以石英玻璃作为衬底、TiO2作为靶材，靶材和衬底之间的间距保持在4‑8cm，激光束以45°的入射角度照射在靶材表面，先将腔室抽真空为1×10‑3‑5×10‑3 Pa，然后加热衬底温度至200‑700℃，再继续抽真空为1×10‑4‑5×10‑4 Pa，接着通氧气，控制氧流量为10sccm，调节氧分压为5‑10Pa；先预溅射5min，去除靶材表面氧化物后再开始向衬底溅射，结束后原位退火至室温，即生成沉积在石英玻璃衬底上的Magnéli相Ti6O11透明导电薄膜，其中生长速率为2‑12 nm/min。该薄膜材料为纯Ti6O11Magnéli相且具有高度择优取向性，同时具有良好的导电性和可见区及近红外光区的透光率。

著录项

公开/公告号CN113930723A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14

原文格式PDF
申请/专利权人河南理工大学;
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申请/专利号CN202111200705.4
发明设计人乔文涛;李明;王康佳;宗海涛;潘靖;殷月红;
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申请日2021-10-14
分类号C23C14/08(20060101);C23C14/28(20060101);C23C14/34(20060101);C23C14/58(20060101);G01N27/12(20060101);
代理机构41182 焦作加贝专利代理事务所(普通合伙);
代理人冯新志
地址 454003 河南省焦作市世纪路2001号
入库时间 2023-06-19 13:55:46

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2023-08-04

授权

发明专利权授予

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