公开/公告号CN113941413A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 长沙矿冶研究院有限责任公司;
申请/专利号CN202111056460.2
申请日2021-09-09
分类号B02C18/12(20060101);B02C18/16(20060101);B02C21/00(20060101);B02C23/14(20060101);C01B33/037(20060101);
代理机构43213 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人段红玉;杨斌
地址 410000 湖南省长沙市岳麓区麓山南路966号
入库时间 2023-06-19 13:57:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-27
授权
发明专利权授予
机译: 硅提纯设备及硅提纯工艺
机译: 一种用于处理硅渣的渣组合物
机译: 相对于沉积的氧化物,热生长的氧化物和氮化物中的至少一种选择性地刻蚀多晶硅的方法,以及相对于BPSG选择性地刻蚀多晶硅的方法