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一种PKG用单颗UNIT自动清洗装置及其方法

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摘要

本发明公开了一种PKG用单颗UNIT自动清洗装置及其方法，装置底座上设置有滤网扣盖，单颗UNIT设置在装置底座内，位于装置底座和滤网扣盖之间，装置底座的底部开有过滤孔。采用本发明的装置及方法进行返工作业，可优化现有流程，减少人员工作量，提升效率及返工质量。

公开/公告号CN113964069A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-21

原文格式PDF
申请/专利权人华天科技(南京)有限公司;
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申请/专利号CN202111217703.6
发明设计人郭强;马勉之;
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申请日2021-10-19
分类号H01L21/673(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101);B08B3/02(20060101);B08B13/00(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人高博
地址 211805 江苏省南京市浦口区桥林街道丁香路16号
入库时间 2023-06-19 13:57:16

1. 一种PKG用单颗UNIT自动清洗装置及其方法 [P] . 中国专利： CN113964069A . 2022-01-21
2. 一种单颗磁性磨粒磁场力测量方法及装置 [P] . 中国专利： CN111610137A . 2020-09-01
3. METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL DIAMOND [P] . 日本专利： JP2013177270A . 2013-09-09

机译：制作单颗钻石的方法和装置
4. METHOD AND APPARATUS FOR MAKING CRYSTALLINE MATERIALS IN PARTI CULAR DIAMONDS [P] . 英国专利： GB1333297A . 1973-10-10

机译：制作单颗钻石晶体材料的方法和装置
5. A method for automatic washing of motor vehicles, as well as an automatic device for carrying out the method [P] . 德国专利： DE69209120T2 . 1996-09-19

机译：一种自动清洗汽车的方法以及执行该方法的自动装置