公开/公告号CN113985250A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡中微亿芯有限公司;中国电子科技集团公司第五十八研究所;
申请/专利号CN202111253939.5
申请日2021-10-27
分类号G01R31/28(20060101);
代理机构32228 无锡华源专利商标事务所(普通合伙);
代理人过顾佳
地址 214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号B1幢2层
入库时间 2023-06-19 14:01:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-05-23
授权
发明专利权授予
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