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一种平面挠曲式大灵敏度加速度传感器及制作方法

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摘要

本发明提供一种平面挠曲式大灵敏度加速度传感器及制作方法，本发明涉及加速度传感器技术领域，包括：底座以及分别与底座连接的壳盖和芯体；壳盖的一端设有接嘴；芯体设有质量块；质量块上连接有上压电片和下压电片；通过导线将上压电片和下压电片并联，再将上压电片和下压电片分别通过导线与接嘴电连接。质量块设有中心柱、圆盘以及圆环，形成工字型结构，使得其结构具有较高的强度和运行可靠性。上压电片和下压电片分别套设到中心柱上，上压电片设置在圆盘上端，下压电片设置在圆盘下端，降低温度和基座应变对加速度传感器的影响，提高加速度传感器的灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN113985067A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东利恩斯智能科技有限公司;

    申请/专利号CN202111625910.5

  • 发明设计人 郇正利;董超;马立智;

    申请日2021-12-29

  • 分类号G01P15/09(20060101);

  • 代理机构37205 济南舜源专利事务所有限公司;

  • 代理人李舜江

  • 地址 251100 山东省德州市齐河县齐鲁高新技术开发区科技小镇加速器二号楼4楼北侧417室

  • 入库时间 2023-06-19 14:01:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/09 专利申请号:2021116259105 申请日:20211229

    实质审查的生效

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