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由有机锰化合物构成的化学蒸镀用原料和使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法

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本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3

著录项

公开/公告号CN114008238A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01

原文格式PDF
申请/专利权人田中贵金属工业株式会社;
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申请/专利号CN202080042968.4
发明设计人原田了辅;津川智广;重富利幸;李承俊;科汤·巴邦·卡特卡;
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申请日2020-06-15
分类号C23C16/18(20060101);H01L21/768(20060101);C07F13/00(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人盛曼;金龙河
地址日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:05:00

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法律状态
2022-02-01

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