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一种高密度自绝缘的柔性微针电极及其制备方法

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本发明公开了一种高密度自绝缘的柔性微针电极及其制备方法。现有的柔性脑皮层电极存在刺激和记录空间分辨率低以及无法植入皮层内部的问题。此外，已有的犹他电极或类犹他电极还存在制备工艺复杂和成本高的问题。该柔性微针电极包括下绝缘层，设置在下绝缘层上的SU‑8凸台，以及设置在SU‑8凸台上的金属导电焊盘、金属导线和柔性微针电极阵列。SU‑8凸台不同位置的纵截面均为倒梯形；多个金属导电焊盘、多条金属导线和柔性微针电极阵列均设置在SU‑8凸台上。本发明通过利用微针结构，使得微针电极阵列的电极点能够刺入组织内部实现高时空分辨率的刺激和记录。本发明具有制备工艺简单和低成本的优点，还具有优秀的机械匹配性。

著录项

公开/公告号CN114010198A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-08

原文格式PDF
申请/专利权人杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学;
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申请/专利号CN202111334502.4
发明设计人王明浩;樊晔;程瑜华;王高峰;
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申请日2021-11-11
分类号A61B5/293(20210101);A61B5/262(20210101);
代理机构33240 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陈炜
地址 325024 浙江省温州市龙湾区瑶溪街道南洋大道浙南云谷B幢3、4层
入库时间 2023-06-19 14:09:38

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法律状态
2022-02-08

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