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基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像装置及方法

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本发明涉及光学技术领域，具体公开了一种基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像方法和装置，包括激光器、准直扩束系统、空间光调制器、4f缩束系统、二向色镜、显微物镜、微球、直写基底、三维可控精密位移台、照明光源、照明模块及相机等，所述的激光器出射光经过扩束准直后入射到加载有相位全息图的空间光调制器上面，调制后的光斑经过4f缩束系统入射到显微物镜，在显微物镜焦面形成聚焦光斑阵列同时捕获多个微球，利用微球强聚焦特性配合相位全息图变化，在直写基底上面进行任意图案的高通量超分辨激光直写；同时，微球结合显微物镜可对超分辨激光直写结构进行实时成像，图像由相机采集，实现基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像。

著录项

公开/公告号CN114077168A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-22

原文格式PDF
申请/专利权人之江实验室;
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申请/专利号CN202210009224.3
发明设计人刘锡;匡翠方;马程鹏;朱大钊;丁晨良;曹春;杨顺华;王洪庆;罗昊;温积森;张智敏;魏震;
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申请日2022-01-06
分类号G03F7/20(20060101);G21K1/00(20060101);
代理机构33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙);
代理人孙孟辉
地址 311100 浙江省杭州市余杭区中泰街道之江实验室南湖总部
入库时间 2023-06-19 14:14:25

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-03-11

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2022100092243 申请日:20220106

实质审查的生效

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