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一种离线光学元件装调平台及装调方法

摘要

本发明涉及面形检测技术领域,尤其涉及一种离线光学元件装调平台及装调方法,包括:导轨、设置在所述导轨上的第一转台和第二转台、棱镜平台、安装在棱镜平台上的多个棱镜;激光器和波前传感器;两个转台用于使激光器和波前传感器旋转至所需的角度,所需的角度指激光器发射的激光束照射在所述多个棱镜P1‑Pn中的一个上被反射后,反射光线可以被波前传感器所接收;装调平台还包括处理器,用于接收并显示波前传感器发送的波前图像,并根据所述波前图像判断光学元件面型的变化情况。本申请通过波前传感器对光学元件面型在装配过程中的面型变化情况进行监测,实时对装配过程进行调整优化,可保证光学元件在装配过程中最大程度保持其原始面型状态。

著录项

  • 公开/公告号CN114077033A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京科益虹源光电技术有限公司;

    申请/专利号CN202010842162.5

  • 申请日2020-08-20

  • 分类号G02B7/18(20210101);G02B27/62(20060101);H01S3/02(20060101);

  • 代理机构44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人曹卫良

  • 地址 100000 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201

  • 入库时间 2023-06-19 14:15:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 7/18 专利申请号:2020108421625 申请日:20200820

    实质审查的生效

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