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用于减小模型预测不确定性的模型校准的预测数据选择

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描述了用于减小与图案化过程相关联的预测模型中的预测不确定性的系统及方法。这些系统及方法可以用于例如校准与图案化过程相关联的过程模型。减小预测模型中的不确定性可以包括基于预测数据确定预测不确定性参数。可以使用预测模型确定预测数据。可以已经利用校准数据来校准预测模型。预测不确定性参数可以与预测数据的变化相关联。减小预测模型中的不确定性可以包括：基于预测不确定性参数来选择过程数据的子集；以及使用校准数据以及过程数据的被选择的子集再校准预测模型。

著录项

公开/公告号CN114096917A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25

原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
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申请/专利号CN202080048601.3
发明设计人王磊;陈怡吟;冯牧;赵谦;
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申请日2020-06-15
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张启程
地址荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 14:15:58

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法律状态
2022-02-25

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