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相位差膜的取向不均缺陷检测方法以及取向不均缺陷检测装置

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本发明的课题在于提供通过基于光学系统的定量评价来进行相位差膜的取向不均缺陷的检测和评价、从而能够提高评价再现性的相位差膜的取向不均缺陷检测方法以及取向不均缺陷检测装置。本发明的相位差膜的取向不均缺陷检测方法具有下述步骤(1)～(5)。(1)在正交尼科耳配置的2张偏光板之间以所述相位差膜的迟相轴相对于偏光板的吸收轴倾斜‑10°～10°的方式旋转地配置。(2)经由一方的偏光板对所述相位差膜照射检查光。(3)经由另一方的偏光板对相位差膜进行摄影而得到亮度图像。(4)相对于所述相位差膜的迟相轴在倾斜方向上对摄影到的亮度图像进行微分(差分)处理而强调边缘部分。(5)利用预定的阈值对边缘强调后的亮度图像进行二值化，得到亮像素或者暗像素，从该像素检测取向不均。

著录项

公开/公告号CN114096833A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25

原文格式PDF
申请/专利权人柯尼卡美能达株式会社;
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申请/专利号CN202080050402.6
发明设计人桥本翔太;增田修;南条崇;
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申请日2020-06-30
分类号G01N21/89(20060101);G01N21/892(20060101);G02B5/30(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人程晨
地址日本东京
入库时间 2023-06-19 14:15:58

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法律状态公告日

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法律状态
2022-02-25

公开

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