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一种表面图案化有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种表面图案化有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备方法。本发明采用软模板压印工艺结合气相辅助法,以PDMS作为软模板印章,复刻光盘光栅图案,通过两步成膜法于玻璃基底上制备了高纯度与高质量的图案化有机无机杂化钙钛矿薄膜。与现有图案化加工工艺对比,本发明所采用的方法操作便捷且成本低廉,图案化薄膜的质量与纯度高,易于大规模大面积制备。该制备方法为商业制备偏振光电探测器吸光层提供了一种有效的途径。

著录项

  • 公开/公告号CN114122266A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京理工大学;

    申请/专利号CN202111364787.6

  • 发明设计人 邹友生;陆星宇;徐晓宝;

    申请日2021-11-17

  • 分类号H01L51/48(20060101);H01L51/42(20060101);

  • 代理机构32203 南京理工大学专利中心;

  • 代理人朱炳斐

  • 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号

  • 入库时间 2023-06-19 14:19:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-01

    公开

    发明专利申请公布

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