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基于飞秒激光的柔性电子器件制备方法及柔性应变传感器

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本发明公开了一种基于飞秒激光的柔性电子器件制备方法及柔性应变传感器，所述基于飞秒激光的柔性电子器件制备方法包括：根据预设图案在柔性基底上采用飞秒激光进行烧蚀使得未被烧蚀的区域形成所述预设图案；在烧蚀后的所述柔性基底上滴加液态金属；去除所述柔性基底上未附着的液态金属，得到所述预设图案对应的电子器件。本发明可以实现在柔性基底上使用液态金属形成特定的预设图案，从而得到柔韧程度高的电子器件的效果。

著录项

公开/公告号CN114141461A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-04

原文格式PDF
申请/专利权人深圳技术大学;大族激光科技产业集团股份有限公司;
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申请/专利号CN202111241826.3
发明设计人龚子丹;孙泽基;李雨堯;黄健豪;林智宇;林乾文;张一岚;王子文;
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申请日2021-10-25
分类号H01C17/06(20060101);B23K26/362(20140101);G01L1/22(20060101);
代理机构44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人朱阳波;陈专
地址 518000 广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号
入库时间 2023-06-19 14:23:39

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2022-03-04

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