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一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备

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本发明涉及一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备，属于半导体制造技术领域，解决了现有技术中通过更换末端执行臂来防止副产物飞散到晶圆上的方式造成生产效率低下的问题。尾气排除系统包括设于末端执行臂表面的多个微孔、多支路混合腔体、控制阀和排放管线，排放管线包括位于末端执行臂内部的第一排放管线和位于末端执行臂外部的第二排放管线，多支路混合腔体上设有出气孔和多个进气孔，进气孔的数量与微孔的数量相同，微孔和进气孔之间通过第一排放管线连接，多个微孔的气体汇集于多支路混合腔体，出气孔和控制阀通过第二排放管线连接。本发明实现了从根本上防止副产物的产生。

著录项

公开/公告号CN114551273A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-27

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司;
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申请/专利号CN202011341241.4
发明设计人李相龙;李俊杰;李琳;王佳;周娜;
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申请日2020-11-25
分类号H01L21/67;B25J9/12;B25J9/16;B25J19/00;
代理机构北京天达知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人裴红
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 15:27:37

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-05-27

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