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基于波前调制的大口径波前扫描测量装置与方法

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一种基于波前调制的大口径波前扫描测量装置及方法，装置包括：结构小孔，用于对大口径待测光束进行部分透光；编码板，设置于所述的结构小孔输出光束方向，用于对待测光束进行波前调制；光斑探测器，设置于所述的编码板输出光束方向，用于记录待测光束的衍射光斑；位移台，用于供所述的结构小孔、编码板和光斑探测器放置；控制及计算模块，分别与所述的光斑探测器和位移台相连，用于控制所述的位移台移动，以及获取光斑探测器记录的衍射光斑，并进行处理。本发明对于大口径器件的透过率复振幅测量具有重要的应用前景，具有精度高，速度快，装置简便，适用性广泛等优点。

著录项

公开/公告号CN114993618A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-02

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN202210546594.0
发明设计人朱健强;徐英明;陶华;刘诚;潘兴臣;
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申请日2022-05-11
分类号G01M11/02;
代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2023-06-19 16:39:50

法律信息

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法律状态信息

法律状态
2022-09-02

公开

发明专利申请公布

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