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基于并行多狭缝结构照明的微观表面形貌测量方法及装置

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本发明属于微观表面形貌测量领域，并具体公开了一种基于并行多狭缝结构照明的微观表面形貌测量方法及装置，包括：S1将一组结构照明图案按顺序加载至数字微镜阵列中；结构照明图案为明暗相间的竖直或倾斜条纹，相邻两张结构照明图案之间亮条纹移动一个亮条纹宽度的距离；S2将光中继到数字微镜阵列上，数字微镜阵列将光调制成照明图案样式的结构光；S3将一组结构照明图案经过物镜投射到样品表面，通过相机采集经样品表面反射的结构光图像，经解算得到当前位置的光学层析图像；S4调整物镜高度，重复S3，得到不同轴向位置处的光学层析图像，从而得到三维表面形貌。本发明可解决因投影条纹对比度限制而导致的光学层析能力受限的问题。

著录项

公开/公告号CN115014242A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-06

原文格式PDF
申请/专利权人华中科技大学;
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申请/专利号CN202210584700.4
发明设计人胡明亮;刘晓军;黄进康;柴常春;叶卓杭;
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申请日2022-05-26
分类号G01B11/25;
代理机构华中科技大学专利中心;
代理人孔娜
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2023-06-19 16:41:23

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法律状态
2022-09-06

公开

发明专利申请公布

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