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批量化涂膜设备及批量化涂膜方法

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本公开描述了一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法，其包括固定机构、盛液机构、注液机构和控制装置，固定机构具有用于固定待涂膜工件的多个固定部，盛液机构具有并排布置且用于盛装涂膜液的形状相同的多个液槽，注液机构具有用于容纳涂膜液的储液部以及与储液部连通并用于供应涂膜液的输注部，控制装置控制注液机构与盛液机构相对移动以使输注部对准液槽并控制输注部向液槽中供应预定体积的涂膜液；并且控制装置控制盛液机构与固定机构相对移动以使固定于固定机构的待涂膜工件浸入液槽中的涂膜液并从液槽中的涂膜液离开，从而在待涂膜工件上形成涂覆膜。根据本公开，能够提供一种提高一致性的批量化涂膜设备及批量化涂膜方法。

著录项

公开/公告号CN115106245A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-27

原文格式PDF
申请/专利权人深圳硅基传感科技有限公司;
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申请/专利号CN202110291066.0
发明设计人李运峰;夏斌;韩明松;
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申请日2021-03-18
分类号B05C3/10;B05C11/10;B05C13/02;
代理机构深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人邱爽
地址 518000 广东省深圳市新安街道留芳路6号庭威产业园3#3楼D区
入库时间 2023-06-19 16:58:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-09-27

公开

发明专利申请公布

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