公开/公告号CN115175769A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;高知县公立大学法人;
申请/专利号CN202180016328.0
申请日2021-02-18
分类号B05B17/06;H01L21/365;H01L21/368;C23C16/455;
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人张晶;刘余婷
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 17:04:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-11
公开
国际专利申请公布
机译: 用于成膜和使用该成膜装置的雾化装置和半导体膜
机译: 成膜雾化装置和使用相同的成膜装置
机译: 用于车辆的内燃机的废气后处理装置,其具有雾化器即超声波雾化器,以及压电膜,该压电膜布置成用于在箱的区域中产生包含还原剂或前体物质的雾。