首页> 中国专利> 硅上分布式反馈（DFB）激光器和包括硅上DFB激光器的集成器件

硅上分布式反馈（DFB）激光器和包括硅上DFB激光器的集成器件

页面导航

摘要

一种分布式反馈(DFB)激光器，包括具有第一表面和第二表面的衬底，其中该衬底包括硅；位于衬底的第二表面上方的多个浅沟槽隔离(STIs)；位于多个STIs和衬底上方的光栅区域，其中光栅区域包括III‑V半导体材料；位于光栅区域上方的非有意掺杂(NID)区域；以及位于NID区域上方的接触区域。

1. 纳米压印法实现DFB激光器脊波导上绝缘层开窗工艺 [P] . 中国专利： CN108963753A . 2018-12-07
2. 利用机械特征和贯穿硅通孔集成在硅基座上的量子点激光器 [P] . 中国专利： CN111727535A . 2020-09-29
3. DISTRIBUTED FEEDBACK (DFB) LASER ON SILICON AND INTEGRATED DEVICE COMPRISING A DFB LASER ON SILICON [P] . 美国专利： WO2021173821A1 . 2021-09-02

机译：在硅和集成器件上的分布式反馈（DFB）激光，包括在硅上的DFB激光器
4. Method of manufacturing multi-wavelengths distributed feedback (DFB) laser array including top separate confinement layer having different thickness laser units on the quantum-well layer grown by selective area epitaxial growth [P] . 美国专利： US8921138B2 . 2014-12-30

机译：一种制造多波长分布式反馈（DFB）激光器阵列的方法，该阵列包括在通过选择性区域外延生长而生长的量子阱层上具有不同厚度的激光单元的顶部分离的限制层
5. Horizontal emitting, vertical emitting, beam shaped, distributed feedback (DFB) lasers fabricated by growth over a patterned substrate with multiple overgrowth [P] . 美国专利： US8227818B2 . 2012-07-24

机译：通过在具有多个过度生长的图案化基板上生长而制造的水平发射，垂直发射，光束形，分布式反馈（DFB）激光器