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一种晶圆取环方法和晶圆取环装置

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本发明公开了一种晶圆取环方法和晶圆取环装置，其中晶圆取环装置包括工作台和机械爪，所述机械爪包括固定底盘，所述固定底盘上沿固定底盘的轴心呈放射状设置有多个条形槽，所述条形槽上通过旋转电机驱动可移动地设置有弧形卡爪，所述弧形卡爪沿条形槽在所述固定底盘上做向心运动或离心运动，实现弧形卡爪间的合并或张开，当弧形卡爪合并时，形成一个圆环。本方案提高了卡爪组件之间工作的同步性，减少了取环时产生的力矩，防止晶圆在取环过程中受损，同时简略了取环工艺步骤，提高了取环效率。

著录项

公开/公告号CN115503001A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-12-23

原文格式PDF
申请/专利权人江苏京创先进电子科技有限公司;
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申请/专利号CN202211472858.9
发明设计人于光明;陈丛余;葛凡;孙志超;周鑫;
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申请日2022-11-23
分类号B25J11/00;B25J15/06;B25J15/08;
代理机构南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人顾祥安
地址 215000 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
入库时间 2023-06-19 18:04:57

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-12-23

公开

发明专利申请公布

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