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一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法

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摘要

本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法，其中装置包括：箱体；晶圆承载移动组件，用于接收晶圆，带动晶圆平行移位并沿竖直方向提升晶圆；双喷淋组件，其包括位于上方的出气口和位于下方的出液口，在晶圆上升过程中，出液口向晶圆表面第一区域喷液的同时出气口向晶圆表面第二区域喷气，其中，第一区域与第二区域相交并位于第二区域下方，以在相交位置发生马兰戈尼效应剥离晶圆表面的污染物。

著录项

  • 公开/公告号CN115565916A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2023-01-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华海清科股份有限公司;

    申请/专利号CN202211398100.5

  • 发明设计人 申兵兵;李长坤;赵德文;路新春;

    申请日2022-11-09

  • 分类号H01L21/67;H01L21/02;B08B3/02;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

  • 入库时间 2023-06-19 18:11:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-03

    公开

    发明专利申请公布

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