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一种真空机械手真空性能测试设备

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本发明属于真空机械手性能测试技术领域，具体地说是一种真空机械手真空性能测试设备，包括测试腔室，测试腔室的底面开设有用于连接真空机械手的真空机械手连接口，测试腔室的外周面上开设有若干个设备连接口，每个设备连接口对应的测试腔室的外周面上均安装有设备互联结构件或门阀，每个设备互联结构件远离测试腔室的一端与外接设备或封盖连接；靠近其中一个设备连接口的测试腔室上设有晶圆校准组件。本发明可模拟半导体行业实际工艺生产流程，让真空机械手的测试结果更具说服力；可灵活外接半导体生产相关设备，便于测试任务的执行，解决了传统测试设备结构简单，测试动作单一的问题。

著录项

公开/公告号CN115570587A

专利类型发明专利
公开/公告日2023-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
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申请/专利号CN202211576987.2
发明设计人曲超;徐方;杨奇峰;程龙;杨志明;王翔宇;林峰雪;
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申请日2022-12-09
分类号B25J15/06;B25J19/00;
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人杨旭
地址 110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
入库时间 2023-06-19 18:14:35

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法律状态
2023-01-06

公开

发明专利申请公布

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