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尤其适用于微系统技术领域,运用干涉测量和基于成像处理进行组合式几何测量的设备和方法

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本发明设备包括物镜(8)，它基本上能以两种不同的测量模式进行测量。在第一中干涉模式中，干涉-光学地对测量对象(9)进行测量。在第二种成像处理模式中，类似摄像机构造的检测器阵列(12)上生成光学图像，并将图像传输到图像处理程序。通过设备光路不同位置照明装置(从摄像机看时)的转换，一个在光束分离器前，另一个在光束分离器的后面，可以实现两种测量模式之间的转换，它将基准光路结合到光路中。

著录项

公开/公告号CN101438127B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-08-14

原文格式PDF
申请/专利权人陆马尔股份有限公司;
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申请/专利号CN200780016669.8
发明设计人诺波特·斯蒂芬斯;彼得·莱曼;
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申请日2007-05-04
分类号G01B9/04(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人车文;安翔
地址德国哥廷根
入库时间 2022-08-23 09:15:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-08-14

授权

授权
2009-07-15

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-05-20

公开

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外文文献

1. 尤其适用于微系统技术领域,运用干涉测量和基于成像处理进行组合式几何测量的设备和方法 [P] . 中国专利： CN101438127B . 2013.08.14
2. 尤其适用于微系统技术领域，运用干涉测量和基于成像处理进行组合式几何检测的设备和方法 [P] . 中国专利： CN1950668A . 2007-04-18
3. Apparatus and method for the combined interferometric and imaging geometry recognition based, in particular, in microsystem technology [P] . 德国专利： DE102004022341A1 . 2005-12-29

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5. Device and method for a combined interferometry and image-based determination of geometry, especially for use in micro system engineering [P] . 美国专利： US2007035744A1 . 2007-02-15

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