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使用负型感光性树脂层压体的抗蚀剂固化物的制造方法、负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法

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摘要

本发明提供能带来显影后附着力和分辨率优异的抗蚀图案以及优异的抗蚀层形状的抗蚀剂固化物的制造方法、负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法。本发明的抗蚀剂固化物的制造方法，其包括如下工序：层压体形成工序：形成至少由支撑体(A)、负型感光性树脂层(B)和基板(C)层压而成的负型感光性树脂层压体；曝光工序：使用投影光掩模像的光并隔着透镜，对该负型感光性树脂层(B)进行曝光；显影工序：通过显影除去该负型感光性树脂层(B)的未曝光部分，形成由该负型感光性树脂层(B)的固化部分组成的抗蚀剂固化物；该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25％以上50％以下。

著录项

公开/公告号CN101952777B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-04-09

原文格式PDF
申请/专利权人旭化成电子材料株式会社;
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申请/专利号CN200880121352.5
发明设计人井出阳一郎;
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申请日2008-12-15
分类号G03F7/031(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/027(20060101);G03F7/032(20060101);G03F7/40(20060101);G03F7/42(20060101);H05K3/06(20060101);H05K3/18(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇;李茂家
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:18:14

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-05-25

专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/031 登记生效日:20160503 变更前: 变更后: 申请日:20081215

专利申请权、专利权的转移
2014-04-09

授权

授权
2011-03-16

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/031 申请日:20081215

实质审查的生效
2011-01-19

公开

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