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正型光敏树脂组合物,利用其制备的光敏树脂膜,和包括该光敏树脂膜的半导体器件

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本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]。

著录项

公开/公告号CN102566274B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-07

原文格式PDF
申请/专利权人第一毛织株式会社;
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申请/专利号CN201110349054.5
发明设计人车明焕;李种和;任美罗;郑闵鞠;郑知英;赵显龙;田桓承;
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申请日2011-11-07
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人李丙林
地址韩国庆尚北道
入库时间 2022-08-23 09:19:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-10-26

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/039 授权公告日:20140507 终止日期:20171107 申请日:20111107

专利权的终止
2014-05-07

授权

授权
2014-05-07

授权

授权
2012-09-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/039 申请日:20111107

实质审查的生效
2012-09-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20111107

实质审查的生效
2012-07-11

公开

公开
2012-07-11

公开

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