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定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统

摘要

本发明公开了一种定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统,通过在坩埚底部放置测温探头,并通过计算升温速率的来判断籽晶是否处于半熔化的状态,从而实现了定向凝固法生长硅晶体中的引晶控制,有利于增加硅锭的生产率,提高类单晶硅生长的成功率,提高硅晶体的品质。

著录项

  • 公开/公告号CN102392301B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江碧晶科技有限公司;

    申请/专利号CN201110364214.3

  • 发明设计人 李乔;马远;王明德;周晓峰;

    申请日2011-11-16

  • 分类号C30B29/06(20060101);C30B11/14(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡红娟

  • 地址 312300 浙江省绍兴市上虞市人民西路567号

  • 入库时间 2022-08-23 09:19:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 29/06 授权公告日:20140625 终止日期:20161116 申请日:20111116

    专利权的终止

  • 2015-09-09

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B 29/06 变更前: 变更后: 登记生效日:20150820 申请日:20111116

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-09-09

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B 29/06 变更前: 变更后: 登记生效日:20150820 申请日:20111116

    专利申请权、专利权的转移

  • 2014-06-25

    授权

    授权

  • 2014-06-25

    授权

    授权

  • 2012-05-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20111116

    实质审查的生效

  • 2012-05-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20111116

    实质审查的生效

  • 2012-03-28

    公开

    公开

  • 2012-03-28

    公开

    公开

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