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使用定位标记的位置误差测量方法和装置及根据使用定位标记的位置误差测量结果进行位置修正的加工装置

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摘要

以预定精度相对于图像信息检测装置(1、2)对定位标记(21-24)进行定位并加以固定，在狭视场的图像信息检测装置(1)可检测定位标记(21-24)时，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差；在狭视场的图像信息检测装置(1)不能检测定位标记(21-24)时，由宽视场的图像信息检测装置(2)检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息得到的被加工件(7)的位置误差，修正宽视场的图像信息检测装置(2)与被加工件(7)的相对位置；由狭视场的图像信息检测装置检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差。

著录项

公开/公告号CN1152232C

专利类型发明授权
公开/公告日2004-06-02

原文格式PDF
申请/专利权人三菱电机株式会社;
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申请/专利号CN98813749.6
发明设计人森俊博;
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申请日1998-12-22
分类号G01B11/00;G06T7/00;H05K3/00;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人沈昭坤
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 08:56:38

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2007-02-21

专利权的终止未缴年费专利权终止

专利权的终止未缴年费专利权终止
2004-06-02

授权

授权
2001-02-28

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
2001-02-21

公开

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专利
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1. 使用定位标记的位置误差测量方法和装置及根据使用定位标记的位置误差测量结果进行位置修正的加工装置 [P] . 中国专利： CN1152232C . 2004.06.02
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