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一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构及测量方法

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本发明公开了一种微机械系统中微悬臂梁粘附力的测量结构，包括衬底、被测十字梁、参考十字梁、下拉电极、拉动电极、衬底接触电极和窄条电极组；被测十字梁由第一横梁和第一扭转支撑梁组成，参考十字梁由第二横梁和第二扭转支撑梁组成，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁分别通过锚区连接在衬底上；衬底接触电极和下拉电极位于第一横梁同一侧下方；窄条电极组位于第二横梁一侧端部的下方；拉动电极位于第一横梁另一侧和第二横梁另一侧的下方；所述的窄条电极组包括至少三根相互平行布置的窄条电极，每根窄条电极的末端均连接一个压焊块。利用该测量结构能够获取被测十字梁的粘附力性能。本发明还公开了该测量结构的测量方法，方便易行。

著录项

公开/公告号CN102944515B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-13

原文格式PDF
申请/专利权人东南大学;
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申请/专利号CN201210516342.X
发明设计人唐洁影;蒋明霞;
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申请日2012-12-05
分类号
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);
代理人柏尚春
地址 211189 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号
入库时间 2022-08-23 09:20:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-11-23

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 19/04 授权公告日:20140813 终止日期:20171205 申请日:20121205

专利权的终止
2014-08-13

授权

授权
2014-08-13

授权

授权
2013-04-03

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N19/04 申请日:20121205

实质审查的生效
2013-04-03

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 19/04 申请日:20121205

实质审查的生效
2013-02-27

公开

公开
2013-02-27

公开

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