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平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法

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本发明公开了一种平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法，对透射面和反射面探测器上的激光干涉光强数据去除直流和归一化得到的数据，计算T

著录项

公开/公告号CN102927969B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-10-15

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海技术物理研究所;
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申请/专利号CN201210405650.5
发明设计人孙晓杰;华建文;代作晓;王志锐;陈仁;樊庆;夏翔;李涛;李文辰;王战虎;
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申请日2012-10-22
分类号
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2022-08-23 09:21:13

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-10-15

授权

授权
2013-03-20

实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 9/00 申请日:20121022

实质审查的生效
2013-02-13

公开

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