首页> 中国专利> 金属氧化物膜的制造方法及金属氧化物膜、使用该金属氧化物膜的元件、带有金属氧化物膜的基板以及使用该基板的器件

金属氧化物膜的制造方法及金属氧化物膜、使用该金属氧化物膜的元件、带有金属氧化物膜的基板以及使用该基板的器件

摘要

本发明提供采用属于金属氧化物膜的制造方法的涂布法形成的、兼有优良的透明性和高的导电性、且膜强度优良的金属氧化物膜、以及该金属氧化物膜的制造方法。该金属氧化物膜的制造方法为经由使用一种含有各种有机金属化合物的金属氧化物膜形成用涂布液在基板上形成涂布膜的涂布工序、将该涂布膜转变成干燥涂布膜的干燥工序以及由该干燥涂布膜形成无机膜的加热处理工序来形成金属氧化物膜的方法,其特征在于,该加热处理工序是对以各种有机金属化合物为主成分的干燥涂布膜进行加热处理,所述加热处理是在露点温度-10℃以下的含氧气氛中升温到至少能引起有机金属化合物成分发生无机化的温度以上,通过采用热分解或燃烧、或者热分解加燃烧来除去干燥涂布膜中的有机成分以形成致密地填充有以各种金属氧化物为主成分的金属氧化物微粒的金属氧化物微粒层。

著录项

  • 公开/公告号CN102933496B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-10-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友金属矿山株式会社;

    申请/专利号CN201180028065.1

  • 申请日2011-06-08

  • 分类号C03C17/27(20060101);C01G27/02(20060101);C01F7/02(20060101);C01F17/00(20060101);C01G23/04(20060101);C01G25/02(20060101);C03C17/25(20060101);H01B5/14(20060101);H01B13/00(20060101);C01B13/32(20060101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人王永红

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:21:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-02

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C03C17/27 授权公告日:20141022 终止日期:20190608 申请日:20110608

    专利权的终止

  • 2014-10-22

    授权

    授权

  • 2014-10-22

    授权

    授权

  • 2013-03-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G27/02 申请日:20110608

    实质审查的生效

  • 2013-03-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G 27/02 申请日:20110608

    实质审查的生效

  • 2013-02-13

    公开

    公开

  • 2013-02-13

    公开

    公开

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