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表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法

摘要

一种表面性质和形状测定机,具备:工作台、具有测头的接触式检测器(20)、图像探测器(30)、相对移动机构(40)和控制装置(50)。控制装置(50)包括:中心位置计算机构,其当通过图像探测器而被输入被测定物的圆形凹状部或圆形凸状部的圆形轮廓线中至少三点以上的位置数据时,对输入的位置数据适当配置圆并求圆的中心位置;测头设置机构,其在求出中心位置时则使相对移动机构动作,使接触式检测器的测头位于中心位置。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-10

    授权

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  • 2012-09-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20101012

    实质审查的生效

  • 2011-05-04

    公开

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