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一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法

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本发明提供一种基于光载流子辐射技术的高功率紫外激光光束特性测量记录方法，其特征在于：紫外激光光束照射到掺杂半导体材料表面产生激光退火效应，使得半导体材料由于掺杂引起的损伤得到修复，其修复程度的二维分布与激光束的光强分布有关。通过光载流子辐射技术测量掺杂半导体材料损伤修复情况的二维分布，经标定即可获得紫外激光光束的二维光强分布。本发明优点在于：本发明可以直接永久记录高功率紫外激光光束特性；本发明可以通过简单标定和数据处理即可获得高功率紫外激光光束特性。

著录项

公开/公告号CN103712687B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-20

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院光电技术研究所;
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申请/专利号CN201410004908.X
发明设计人李斌成;王谦;
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申请日2014-01-06
分类号G01J1/42(20060101);G01J1/00(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人孟卜娟
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:25:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-05-20

授权

授权
2014-05-07

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/42 申请日:20140106

实质审查的生效
2014-04-09

公开

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