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一种用于考察纳通道中热气泡特性的实验芯片的制作方法

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摘要

一种用于考察纳通道中热气泡特性的实验芯片制作方法，其中芯片主体的制作方法主要包括储液池、微通道、纳通道、加热线圈及加热电极的形成工艺步骤，其中储液池、微通道和纳通道必须连通为一体，加热线圈用于加热纳通道内部溶液以产生热气泡，加热电极用于给加热线圈供电及测量加热线圈温度。利用本发明提供的芯片，可通过考察纳通道两端的电流信号间接地考察纳通道中的热气泡特性，为进一步设计基于纳尺度热气泡的传感器提供技术支持，同时为了实现芯片的结构及功能，本发明还提供了一种该芯片的制作方法。

著录项

  • 公开/公告号CN103105415B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-08-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏大学;

    申请/专利号CN201310012266.3

  • 发明设计人 陈敏;马如宇;高锦柱;陈冬冬;杨平;

    申请日2013-01-14

  • 分类号

  • 代理机构南京知识律师事务所;

  • 代理人汪旭东

  • 地址 212013 江苏省镇江市京口区学府路301号

  • 入库时间 2022-08-23 09:28:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 27/00 授权公告日:20150805 终止日期:20160114 申请日:20130114

    专利权的终止

  • 2015-08-05

    授权

    授权

  • 2013-06-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/00 申请日:20130114

    实质审查的生效

  • 2013-05-15

    公开

    公开

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