法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06T7/00 授权公告日:20151125 终止日期:20180426 申请日:20130426
专利权的终止
2015-11-25
授权
授权
2013-10-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T7/00 申请日:20130426
实质审查的生效
2013-09-04
公开
公开
机译: 法布里-珀罗-干涉仪-单元,一种用于操作法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法以及一种制造法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法
机译: 通过干涉测量法和非干涉测量法确定表面高度图的装置
机译: 在微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置中制造中间组分的方法,制造微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置的方法,以及微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置