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用于处理室的预测性预防性维护的方法和装置

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提供了一种用于评估处理室的健康状况的方法。该方法包括执行配方。该方法还包括在配方的执行过程中接收来自成组的传感器的处理数据。该方法进一步包括利用成组的多变量预测模型分析所述处理数据。该方法还包括产生成组的部件磨损数据值。该方法还进一步包括将所述成组的部件磨损数据值与成组的使用寿命阈值范围相比较。此外，该方法包括如果所述成组的部件磨损数据值超出所述成组的使用寿命阈值范围，则产生警告。

著录项

公开/公告号CN102804929B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25

原文格式PDF
申请/专利权人朗姆研究公司;
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申请/专利号CN201080028990.X
发明设计人吕克·阿尔巴雷德;埃里克·佩普;维甲压库马尔·C·凡尼高泊;布莱恩·D·崔;
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申请日2010-06-29
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:31:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-11-25

授权

授权
2013-01-23

实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/24 申请日:20100629

实质审查的生效
2012-11-28

公开

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1. 用于处理室的预测性预防性维护的方法和装置 [P] . 中国专利： CN102804929B . 2015.11.25
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