法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-30
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):A47K10/16 申请日:20130702
实质审查的生效
2013-10-23
公开
公开
机译: 一种方法,用于确定清洁构件的清洁度,用于确定污染物的污染物的吸附特性的方法,用于确定基板的清洁度的方法,用于确定基板的清洁度的程序,以及确定 清洁过程的终点。 计划做
机译: 确定清洁构件清洁性的方法,确定污染物的吸附特性的方法,污染物清洁构件的吸附特性,用于确定基板清洁度的方法,用于确定基板清洁度的程序,以及确定清洁过程结束点的程序
机译: 清洁室内安装的高清洁度低露点设备中的制造组件加载方法