法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-13
授权
授权
2016-02-03
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/52 登记生效日:20160114 变更前: 变更后: 申请日:20100720
专利申请权、专利权的转移
2012-05-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/52 申请日:20100720
实质审查的生效
2012-04-18
公开
公开
机译: 制造半导体晶片接合产品,半导体晶片接合产品和半导体装置的方法
机译: 间隔物形成膜,制造半导体晶片接合产品的方法,半导体晶片接合产品和半导体装置
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