法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L5/00 授权公告日:20160413 终止日期:20190515 申请日:20140515
专利权的终止
2016-04-13
授权
授权
2014-08-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L5/00 申请日:20140515
实质审查的生效
2014-07-30
公开
公开
机译: 用于校准测量装置中的线相机或一维微机电系统微镜或三角测量仪的校准方法,涉及向校准体方向发射激光束
机译: 用激光束测量微成分的方法和装置
机译: 用激光束测量微成分的方法和装置