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图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置

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摘要

本实用新型是一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置。该装置包括：成形系统；成形材料；基底；纳米结构诱导系统；微波固化系统，所述成形系统由背板、支撑、图型化电极组成；成形材料是低粘度和高介电常数的液态热固性环氧树脂材料；基底是P型硅片；纳米结构诱导系统以图型化电极为直流电场的阳极，基底为直流电场的阴极，图型化电极位于基底的上方，其阳极与图型化电极相连，阴极与基底相连。本实用新型具有结构简单、成本低、生产率高、电极使用寿命长、图形精度高等特点，可实现100纳米以下纳米结构高效和低成本制作。

著录项

  • 公开/公告号CN201762092U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2011-03-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东大学;

    申请/专利号CN201020199493.3

  • 发明设计人 兰红波;丁玉成;

    申请日2010-05-24

  • 分类号

  • 代理机构济南圣达专利商标事务所有限公司;

  • 代理人张勇

  • 地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号

  • 入库时间 2022-08-21 23:16:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-08-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B82B3/00 授权公告日:20110316 终止日期:20110524 申请日:20100524

    专利权的终止

  • 2011-03-16

    授权

    授权

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