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一种用于MEMS振动疲劳或扭转疲劳的四梁测试结构

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摘要

一种用于测试MEMS振动疲劳或扭转疲劳的四梁测试结构，包括衬底、沉积于衬底上表面的四块正方形下板板、水平悬置在衬底上方的一块大正方形上极板、连接于上极板的四根窄梁、水平连接在衬底上的一个方形环框架。所述四块正方形下极板相互独立，表面均涂有介质薄层，以2×2排列方式构成一个大正方形；所述四根窄梁的一端分别垂直连接在正方形上极板四条边的侧面的中部，另一端分别连接在外围方形环框架的四个侧面，上极板和四根窄梁及方形环框架的顶面处同一平面；所述上极板通过四根窄梁和方形环框架的支撑悬置在整个下极板的正上方。该发明结构简单，测试方便，易于加工且功能强。

著录项

  • 公开/公告号CN104445056B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN201410765428.5

  • 发明设计人 唐洁影;王磊;蒋明霞;

    申请日2014-12-12

  • 分类号B81C99/00(20100101);G01M7/02(20060101);G01M13/00(20060101);

  • 代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人杨晓玲

  • 地址 210033 江苏省南京市栖霞区西岗办事处摄山星城齐民东路8号

  • 入库时间 2022-08-23 09:39:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-25

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B81C 99/00 变更前: 变更后: 申请日:20141212

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-05-04

    授权

    授权

  • 2016-05-04

    授权

    授权

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C99/00 申请日:20141212

    实质审查的生效

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 99/00 申请日:20141212

    实质审查的生效

  • 2015-03-25

    公开

    公开

  • 2015-03-25

    公开

    公开

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