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提高多晶硅定向凝固过程中除杂效果的定向凝固装置

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本实用新型涉及一种多晶硅定向凝固装置，具体涉及一种提高多晶硅定向凝固过程中除杂效果的定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的水冷拉锭机构，其特征在于保温套筒的高度为石英坩埚高度的1.5～2倍。本实用新型所具有的有益效果是：此装置能够实现硅熔体的定向生长，能够很好的实现定向凝固去除多晶硅中金属性杂质的目的。使用该装置能够很好的将石英坩埚侧壁在下拉过程中的热辐射拦截，有效的降低了侧壁的辐射散热，使定向凝固效果较常规定向凝固方式更好。侧壁向中心方向生长的晶粒相对于常规装置减少90%以上。

著录项

公开/公告号CN203382512U

专利类型实用新型
公开/公告日2014-01-08

原文格式PDF
申请/专利权人青岛隆盛晶硅科技有限公司;
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申请/专利号CN201320429055.5
发明设计人谭毅;袁涛;温书涛;陈磊;
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申请日2013-07-18
分类号C01B33/037(20060101);
代理机构
代理人
地址 266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
入库时间 2022-08-22 00:00:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-17

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B33/037 授权公告日:20140108 终止日期:20190718 申请日:20130718

专利权的终止
2018-08-14

专利权的转移 IPC(主分类):C01B33/037 登记生效日:20180725 变更前: 变更后: 申请日:20130718

专利申请权、专利权的转移
2017-12-22

专利权的转移 IPC(主分类):C01B33/037 登记生效日:20171201 变更前: 变更后: 申请日:20130718

专利申请权、专利权的转移
2014-01-08

授权

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