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一种三维成像及三维扫描显微镜

摘要

本实用新型公开了一种三维成像及三维扫描显微镜,包括成像显微镜和投影显微镜,成像显微镜主要由第一成像单元和第二成像单元构成,第一成像单元包括第一成像元件和第一成像臂,第二成像单元包括第二成像元件和第二成像臂;投影显微镜包括投影元件和投影臂。第一成像臂包括第一成像目镜、第一变倍体和第一辅助物镜,第二成像臂包括第二成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜;投影元件包括光源和条纹图像发生器,光源发出的光经过条纹图像发生器、投影臂投影条纹图像至被测物表面,再经第一成像臂和/或第二成像臂对应由第一成像元件和/或第二成像元件成像。本实用新型既能三维成像又能实现三维扫描,具有应用广泛、使用方便、测量精度高的特点。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-13

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B11/24 变更前: 变更后: 申请日:20140121

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2014-06-25

    授权

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