公开/公告号CN102890421B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201110202734.4
申请日2011-07-19
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:39:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
授权
授权
2013-03-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110719
实质审查的生效
2013-01-23
公开
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