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用于数字平版印刷术的系统

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本实用新型描述了用于数字平版印刷术的系统。所述系统可以包括：板件、至少一个台架，所述至少一个台架设置在所述板件上及能够支撑基板以便处理、至少一个激光干涉仪，耦接到所述板件的所述至少一个激光干涉仪用于测量所述台架和/或所述基板的位置和取向、以及控制器，所述控制器能够接收反馈。对所述台架和/或所述基板的准确测量将允许台架具有较低刚度，例如，以100Hz或更小的频率来移动的台架。

著录项

公开/公告号CN205982983U

专利类型实用新型
公开/公告日2017-02-22

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201620526899.5
发明设计人 J·怀特;T·莱帝克;
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申请日2016-06-02
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-22 02:13:30

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2017-02-22

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