公开/公告号CN206195798U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 曲阜师范大学杏坛学院;
申请/专利号CN201621235258.0
申请日2016-11-18
分类号
代理机构上海旌励知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人牛传凯
地址 250200 山东省济南市章丘市经十东路3028号齐鲁理工学院
入库时间 2022-08-22 02:32:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H04L9/00 授权公告日:20170524 终止日期:20181118 申请日:20161118
专利权的终止
2017-05-24
授权
授权
机译: 洛伦兹致动器,对象定位系统,光刻设备和洛伦兹致动器的操作方法
机译: 包括以不同于共振频率的频率驱动的洛伦兹力传感器的磁传感器以及用于驱动洛伦兹力传感器的方法
机译: 洛伦兹致动器,对象定位系统,光刻设备和洛伦兹致动器的操作方法