公开/公告号CN103946966B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 富士机械制造株式会社;
申请/专利号CN201280056564.6
发明设计人 保坂英希;
申请日2012-10-30
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人穆德骏
地址 日本爱知县知立市
入库时间 2022-08-23 09:40:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-12
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更前: 变更后: 申请日:20121030
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-06-08
授权
授权
2016-06-08
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20121030
实质审查的生效
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20121030
实质审查的生效
2014-07-23
公开
公开
2014-07-23
公开
公开
查看全部
机译： 从晶圆保持部件中跳出的方法，晶圆中的部分裂纹的检测方法，在CMP装置中晶圆中的跳出的方法，CMP装置中晶圆中的部分裂纹的检测方法以及在晶圆中的部分跳动的检测方法脱离晶圆生产商
机译： 表皮晶圆的后表面的检查方法，表皮晶圆的后表面检查装置，表皮生长装置的顶针的管理方法以及表皮晶圆的制造方法
机译： 表皮晶圆反向表面检查方法，表皮晶圆反向表面检查装置，表皮生长装置提升销管理方法以及表皮晶圆制造方法
